中科仪干泵验证收尾 AI存储扩产引爆交付拐点
近期机构研报指出,公司已在28项先进制程工艺中完成14项验证,剩余14项全部完成研制、正陆续进入客户测试,预计2026年四季度前全面收官,批量交付条件基本成熟。研报认为,AI算力基建与存储超级周期共振,带动长江存储、长鑫科技等客户加速扩产,干式真空泵作为刻蚀、薄膜沉积等环节通用设备,直接受益于国产晶圆厂资本开支上行。 研报指出,公司温控冷水机和工艺废气处理一体机已实现海内外近百台装机,切入晶圆制造温度控制与废气处理两大刚需环节,形成‘干泵+泛洁净设备’双轮驱动。技术闭环扎实、头部客户验证充分,叠加在手订单饱满、产能利用率高,中科仪有望成为本轮国产替代中率先放量的真空装备龙头。 中财网
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